可调论文

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    论文摘要在半导体薄膜生长过程中,需要对半导体薄膜的特性(如薄膜应力、生长率、厚度、折射率等)进行实时检测,以实现对其生长过程进行精密控制。国内的薄膜特性检测技术大多为离线检测技...