刻蚀工艺论文

微电子6寸晶圆接触孔刻蚀工艺开发
论文摘要本文主要论述了根据B公司6英寸双极产品遇到的P+链电阻参数异常情况,以理论为依据,通过一系列实验所得到的数据,提出针对接触孔刻蚀程序的开发和改进方案,最终取得了明显的成...