空气桥工艺论文

GaAs基共振隧穿压阻式声传感器研究
论文摘要本论文介绍了一种新型的纳机电（NEMS）声传感器,该声传感器是基于GaAs/AlAs/InGaAs共振隧穿结构（RTS）介观压阻效应所设计的悬臂式结构声传感器。所谓介观...