空心阴极放电论文

N2-Ar管子型空心阴极放电表面氮化空间等离子特性模拟研究
论文摘要N2及N2-Ar空心阴极放电中产生的氮活性粒子（N+、N2+、N）,可用于氮化物薄膜制备、金属表面氮化等。金属表面氮化涂层技术一般希望得到径向流密度较高的氮活性粒子。在...
空心阴极放电特性的研究
论文摘要空心阴极放电是一种既不同于正常辉光放电又不同于反常辉光放电的特殊放电形式,它以其特殊的阴极结构而得名。由于其特有的各项性质,使其在薄膜制备、电光源、显示器件等各个领域中...
氮气放电在氮掺杂及氮化物合成中的应用
论文摘要氮化物由于其在各个领域（如半导体，环境，能源等方面）都展现出其优良的特性和广阔的应用前景，一直以来都是重要的研究对象。本文研制了高解离度的空心阴极放电氮离子束源并应用于...