空心阴极辅助多弧离子镀论文

PVD制备超硬多层复合薄膜材料工艺与性能研究
论文摘要硬质薄膜材料可以广泛应用于机械制造、汽车工业、纺织工业、地质钻探、模具工业、航空航天等领域。在实际的工业应用中,硬度是诸多技术要求中的一个重要指标,除此之外,还有高温硬...