空心阴极离子镀论文

氧化锌薄膜及其掺杂特性
论文摘要氧化锌（ZnO）作为宽禁带Ⅱ-Ⅵ族半导体材料,因其室温下高达60meV的激子束缚能而具有优良的光电性能,并受到了人们的广泛关注。ZnO在透明导电薄膜（transpare...
PVD制备超硬多层复合薄膜材料工艺与性能研究
论文摘要硬质薄膜材料可以广泛应用于机械制造、汽车工业、纺织工业、地质钻探、模具工业、航空航天等领域。在实际的工业应用中,硬度是诸多技术要求中的一个重要指标,除此之外,还有高温硬...