空穴扩散论文

硅纳米孔柱阵列形成机理的研究
论文摘要本论文详细分析了硅纳米孔柱阵列（Si-NPA）形成过程及腐蚀结果，基于多孔硅在酸性溶液中的形成机理及硅在碱性溶液中的各向异性腐蚀机理，结合多孔硅及Si-NPA制备过程中...