跨尺度测量论文

光栅尺高速高精度跨尺度位移测量方法的研究
论文摘要随着集成电路(IC)封装工艺、超精密加工、精密仪器及生物医学工程等众多领域的不断发展,与之相关的设备对运动速度、定位精度的要求越来越高,因此高速高精度定位技术在现代科学...