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电磁驱动快速刀具伺服机构的研究
论文摘要目前,超精密加工技术已成为发展现代高科技制造技术的重要支柱,应用非常广泛,并能够为高端产品提供关键技术支持,如非回转对称光学自由曲面类零件的加工,这些光学元件的表面形状...