快速光热退火论文

纳米硅/氮化硅薄膜微结构特性研究
论文摘要本工作采用螺旋波增强等离子体化学气相沉积（HWP-CVD）技术制备了不同结构的纳米硅/氮化硅镶嵌复合薄膜,并主要关注热退火处理对镶嵌于氮化硅中纳米硅微观结构调整的研究。...