快速热化学气相沉积论文

论文题目:太阳能电池用多晶硅薄膜的制备研究论文类型:博士论文论文专业:凝聚态物理作者:张宇翔导师:卢景霄关键词:太阳能电池,多晶硅薄膜,固相晶化,快速热化学气相沉积,区熔再结晶...