扩散硅压力传感器论文

论文摘要硅微机械压阻型压力传感器已经有30年的发展历史,从最初的硅杯结构到后来的硅盒结构,其外形越来越精巧,性能越来越可靠,应用的范围也越来越广。汽车电子是其很重要的一个应用领...