蓝宝石衬底论文

论文摘要氮化铟（InN）是InGaN合金的重要组成部分,InN使制造InGaAIN基的短波长半导体激光二极管成为可能,因此引起了广泛的关注。与其它III族氮化物氮化镓（GaN）...

论文摘要蓝宝石（α-alumina,Al2O3）是典型的硬脆先进陶瓷材料,作为优良的衬底材料,具有良好的物理和化学性质,普遍用于高速IC芯片、薄膜衬底和各种电子和机械元件。随着...