朗缪尔探针诊断论文

空心阴极放电特性的研究
论文摘要空心阴极放电是一种既不同于正常辉光放电又不同于反常辉光放电的特殊放电形式,它以其特殊的阴极结构而得名。由于其特有的各项性质,使其在薄膜制备、电光源、显示器件等各个领域中...