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用于非晶硅薄膜太阳能电池的AZO薄膜研究
论文摘要原位溅射的AZO薄膜由于其优异的光学、电学和压电特性以及其在薄膜电池和平板显示器上的应用前景引起了广泛的关注。另外,类单晶AZO薄膜由于其独特的性质,在光电器件尤其是非...