类金刚石碳膜论文

氮化硅表面沉积DLC膜的均匀性与摩擦学特性研究
论文摘要在航空航天工业、空间技术迅速发展的今天,用于改造工作表面的新型固体润滑材料应运而生。类金刚石碳膜是一种高硬度、低摩擦系数、高耐磨性及高化学稳定性的新型薄膜材料,作为固体...
高光洁度类金刚石碳膜的制备与性能研究
论文摘要本文介绍了类金刚石碳（DLC）膜的研究进展,对其结构、表面形貌、性能及沉积机理作了详细的总结、分析和讨论。重点综述了类金刚石碳膜的制备方法、应用背景及研究进展。DLC膜...
类金刚石碳膜制备工艺及掺杂性能研究
论文摘要本文基于产业化应用和改善类金刚石膜与基体结合力为目的,在大型工业用等离子体—离子束增强沉积系统中,获得了DLC膜和梯度复合DLC膜。采用了闭合场非平衡磁控溅射和90°弯...