类镍钽软射线激光论文

类镍钽软X射线激光用高反射镜的研究
论文摘要多层膜技术极大地提高了光学元件对极紫外光和软X射线的反射率，有力地促进了该波段光学系统的发展，已在天文学、显微成像、光刻、同步辐射应用以及X射线激光等领域得到了广泛的应...