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杨小林:影响大尺寸ITO靶材冷压质量的因素论文
本文主要研究内容作者杨小林,扈百直,刘秉宁,李正飞,马肖(2019)在《影响大尺寸ITO靶材冷压质量的因素》一文中研究指出:对冷压大尺寸ITO靶材毛坯出现的靶材质量问题进行详细...