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可制造性设计(DFM)的关键图形匹配方法的分析和实践
论文摘要从1958年产生第一个集成电路开始,集成电路都一直以极其高的速度在发展,集成电路的集成度(每个微电子芯片上集成的器件数),每隔2年左右的时间就翻一番。同样,由集成电路发...