良品率提升论文

砷化镓异质结和高电子迁移率晶体管工艺器件的良品率改善
论文摘要砷化镓微波单片集成电路（GaAsMMIC）是应用于高频、高速、高功率环境下的集成电路,它的主要制造工艺有：异质结双极型晶体管（HBT）、应变式高电子迁移率晶体管（pHE...