两种尘埃粒子论文

尘埃等离子体中有两种尘埃粒子时的空洞形成
论文摘要带电的尘埃粒子广泛存在于宇宙空间、实验室的等离子体装置中和材料等离子体加工等环境中。近年来,人们认识到尘埃粒子是影响半导体集成电路加工质量的关键问题,尘埃与等离子体的相...