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半导体/SiO2纳米颗粒镶嵌薄膜结构与光学性能
论文摘要利用射频磁控溅射与后续热处理技术,通过优化工艺参数,在Si晶片上制备出了镶嵌在介质SiO2中的GaP纳米颗粒。通过XRD、SEM、EDS等测试手段分析了GaP/SiO2...
硅量子点镶嵌薄膜材料的非线性光学性质
论文摘要光电材料非线性的大小和性质直接决定了它在非线性光电器件方面的应用。本文采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备的(nc-Si/SiO2)/SiO2和(nc-S...