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纳米压痕法表征压电薄膜/纳米带的力电耦合性能
论文摘要纳米压痕技术具有灵活方便、精确性高以及对样品的尺寸要求小的特点,是表征材料机械性能的常用方法。但通常在薄膜或者纳米带压痕实验过程中,基底会对薄膜或纳米带的力学性能产生影...