磷硅酸盐薄膜论文

磷硅酸盐波导材料的溶胶—凝胶法制备
论文摘要溶胶-凝胶（Sol-gel）技术具有制备过程可在常温常压下进行,所制薄膜纯度高、分布均匀,成本低,所需设备简单,而且能够制备有机/无机混合材料,使材料功能多样化等优点;...