磷扩散源论文

P2O5-Al2O3-SiO2系统微晶玻璃磷扩散源的制备及其性能研究
论文摘要本课题以P2O5-Al2O3-SiO2系统微晶玻璃为研究对象,根据产品的要求、文献和现有的设备综合地设计了一组实验玻璃组分配方。在基础玻璃组分不变情况下,研究了Al2O...