流变抛光论文

本文主要研究内容作者阳志强,李宏,郭忠达（2019）在《蓝宝石磁流变化学机械抛光工艺研究》一文中研究指出：针对超光滑平面蓝宝石衬底片存在亚表层损伤的问题,文中利用磁流变抛光技术...