离子流探针论文

电子束蒸镀过程射频自体辉光放电的等离子体诊断
论文摘要为了克服电子束蒸镀技术存在的不足,提高蒸镀薄膜与基体的膜基结合力,从而扩大电子束蒸镀技术的应用范围。本文在实验室原有电子束蒸镀设备的基础上,对其进行改造添加了射频线圈。...