粒子模拟与蒙特卡罗论文

直流辉光放电的三维PIC/MCC模拟
论文摘要随着微电子工业的发展,辉光放电技术的应用领域越来越广泛,例如:它可用于表面刻蚀、表面改性以及薄膜沉积等材料加工方面,它还可以应用于激光、荧光灯以及平面等离子体显示屏等方...