离子束沉积论文

论文摘要纳米Co/Al2O3/Co多层膜是一种超高密度存储材料,体积小,具有隧道磁电阻效应。利用其效应可能发展出一种存储器,将引起计算机内存芯片的一场革命。利用离子束溅射方法制...