离子束加工论文

确定性光学加工频带误差的评价与分析方法研究
论文摘要相对于传统光学手工加工,确定性光学加工大幅提高了光学加工的精度和效率。但在确定性加工中,被加工表面除了低频的面形误差外,往往还包含较多的中高频成分。这些空间频带误差的存...
光学镜面离子束加工材料去除机理与基本工艺研究
论文摘要光学系统性能要求随着科技的发展不断提高,观测系统、激光系统、光刻投影系统等技术的发展,对光学零件的需求激增,且技术要求较传统光学零件也有很大提升,突出体现在对大口径、大...