离子束刻蚀论文

钛酸锶的光致发光和光催化研究及硅纳米柱制备探索
论文摘要本论文主要包括三方面的工作,钛酸锶（SrTiO3,以下简称STO）的光致发光,STO的光催化性能,以及硅纳米点阵在HF酸电化学腐蚀形成Si纳米柱阵列中所起的引导作用。第...
用于传像光纤束集成的折射微透镜阵列研究
论文摘要随着现代科学技术的飞速发展,微光学技术的制作工艺有了极大的提高,作为重要的微光学元器件家族的一员-微透镜在许多领域有了广泛的应用和迫切的需求。由于光纤有着良好的柔韧性和...
软X射线透射光栅制作
论文摘要作为X射线波段的一种重要色散元件,金透射光栅主要用于激光惯性约束核聚变(ICF)实验中的等离子体诊断,以及X射线天体物理研究的高能透射光栅光谱仪中。使用全息光刻技术制作...
介质膜光栅：光刻胶掩模占宽比和离子束刻蚀槽深的监控
论文题目:介质膜光栅：光刻胶掩模占宽比和离子束刻蚀槽深的监控论文类型:博士论文论文专业:光学工程作者:林华导师:李立峰关键词:光栅,实时监控技术,占宽比,槽深,离子束刻蚀文献来...