离子束修形论文

高精度球体类零件离子束确定性修形技术研究
论文摘要随着现代科技的不断发展,特别是装备性能的迅速提升,应用于各种领域的光学系统对关键零部件的精度要求越来越高。高精度球体类光学零件在精密测量仪器、激光核聚变和高精度陀螺仪表...