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氮气放电在氮掺杂及氮化物合成中的应用
论文摘要氮化物由于其在各个领域(如半导体,环境,能源等方面)都展现出其优良的特性和广阔的应用前景,一直以来都是重要的研究对象。本文研制了高解离度的空心阴极放电氮离子束源并应用于...