离子束增强沉积论文

离子束增强沉积钛合金薄膜的空蚀磨损特性研究
论文摘要微电子机械系统(MEMS)的迅猛发展促进了纳米金属薄膜在微电子机械系统中的广泛应用。同宏观机械系统一样,当流体通过微电子机械系统时,若满足空泡生成的流体力学条件,系统微...