离子注入机论文

先进离子注入机的应用及研究
论文摘要由于集成电路行业的快速发展,离子注入由于其工艺比较干净,控制非常精准,迅速得到了广泛的应用。随着制造工艺水平越来越先进,离子注入渐渐在整个工艺当中起到非常重要的作用,现...
100nm大角度离子注入机控制系统研究
论文摘要离子注入机是半导体制造的关键工艺设备,其中的控制系统研究是离子注入机研制的关键内容之一。本项目开展100nm大角度离子注入机的研究工作,以满足国内大生产线对离子注入工艺...