罗茨干式真空泵论文

罗茨干式真空泵流场瞬态模拟
论文摘要干式真空泵广泛应用于航天、半导体、化工和医药等行业。随着生产工艺中真空应用领域的不断扩大,对真空泵的性能要求也逐渐加大。目前,干式真空泵的研究主要集中在提高生产加工精度...