洛仑兹电机论文

面向精密主动减振的洛仑兹电机及其驱动器研究
论文摘要洛仑兹电机是一种以洛仑兹力直接驱动的永磁直流作动器，具有结构简单、动态响应快、线性性好等特点，被广泛地用作精密直线运动的驱动装置，如光刻机微运动工作台的驱动电机、精密主...