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用于光学聚焦的螺纹压电驱动器的制备与实验
论文摘要在当今社会,随着科学进步和社会发展,压电陶瓷驱动器(即超声波电机)在微纳技术、光学仪器、精密机械、生物医药、航空航天、汽车电子、半导体检测、国防武器等领域有着广泛应用。...
微型超声电机的研究
论文摘要本文从介绍超声电机的基本原理和优缺点入手,指出超声电机在毫米量级的小尺寸领域更具优势。然后从原理设计或改进,有限元仿真计算,加工工艺,实验测量以及低温特性等方面对三款微...