铝诱导晶化论文

铝诱导晶化制备多晶硅薄膜的研究
论文摘要本论文研究在廉价的玻璃衬底上利用铝诱导晶化非晶硅（a-Si）薄膜制备多晶硅（poly-Si）薄膜。样品采用glass/Al/a-Si:H结构,研究了退火条件、铝膜厚度、...
铝诱导法制备多晶硅薄膜研究
论文摘要多晶硅薄膜在长波段具有高光敏性，对可见光能有效吸收，又有与晶体硅一样的光照稳定性，所用材料价格低廉，被公认为是高效率和低功耗的光伏材料，在太阳能电池、传感器、液晶显示、...