毛细管气体放电论文

3mm内径毛细管氙气放电产生极紫外辐射最佳条件研究
论文摘要极紫外（Extremeultraviolet,EUV）光刻技术被视为实现32nm及更小技术节点的下一代主流光刻技术，它采用波长为13.5nm的极紫外辐射光作为曝光光源。...