面形控制方法论文

碳化硅镜面材料的磁流变抛光工艺研究
论文摘要现代光学制造业的迅猛发展已经成为军事、航天、电子等领域的迫切需求,越来越多的光学元件广泛应用于与这些领域相关的复杂系统中,提高光学元件的超精密加工能力,寻求适合光学材料...