敏感模型论文

硅微陀螺读出电路低噪声设计
论文摘要微电子机械系统在过去二十年中发展迅速,微机械陀螺随着微电子机械系统技术的发展也在不断进步。微机械陀螺尺寸很小,通常在微米量级,输出信号小。而微机械陀螺检测电容变化量则非...