摩擦电化学研抛论文

碳化硅陶瓷研抛过程中电摩擦特性的研究
论文摘要碳化硅（SiliconCarbide）陶瓷具有高耐磨耐腐蚀性、高脆性和低断裂韧性的特点,传统的超精密加工方法难以达到高精度表面质量要求。摩擦电化学研抛（Tribo-El...