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基于压电驱动的摩擦式微位移工作台的研究
论文摘要精密制造测量和微操作技术日渐成为当今先进制造业的重要支撑技术,精密定位技术作为关键技术之一,在近代尖端工业生产和科学研究占有极其重要的地位,左右着各领域精密技术的发展。...