摩擦化学抛光论文

CVD金刚石膜摩擦化学抛光技术研究
论文摘要CVD金刚石膜是由化学气相沉积技术沉积的纯金刚石多晶膜,具有最高的硬度和热传导性,良好的化学稳定性和透光性等优越的光学及物理化学性能,被视为21世纪最有发展前途的新材料...