摩擦裂纹论文

单晶硅纳米磨削过程的摩擦裂纹试验研究
论文摘要单晶硅是集成电路（IC）制造过程中最常用的衬底材料,单晶硅的表面质量直接影响着器件的性能、成品率以及芯片寿命。随着单晶硅尺寸的增大及特征尺寸的不断缩小,新的硅片高效超精...