膜层均匀性论文

小模数精密齿轮PIII&D复合强化处理工艺研究
论文摘要本文采用全方位离子注入与沉积技术（PIII&D）在2Cr13和30CrMnSi基体表面上制备了TiN/TiCN/DLC复合膜层,并对小模数齿轮进行了强化处理。TiN、T...