脉冲电弧团簇离子源论文

脉冲电弧团簇离子源实验分析及电源改良
论文摘要本文简单介绍了用脉冲电弧团簇离子源(PACIS)制备金属团簇的原理和方法,就实验中获得的现象进行了详细的分析,得出脉冲电弧团簇离子源电源系统单次脉冲放电功率及放电电流过...