脉冲激光烧蚀和沉积论文
基于ECR等离子体辅助脉冲激光沉积的氧化锌薄膜制备与氮掺杂
论文摘要本论文主要研究方向为利用激光烧蚀和微波放电联合作用摸索一种制备氧化锌薄膜材料的新方法,并在此基础上研究氧化锌的性质和氮掺杂。这种方法结合了脉冲激光沉积法和电子回旋共振(...Al2O3薄膜的低温沉积和Al2O3-Si界面特性研究、硫系玻璃薄膜的制备和表征
论文摘要本论文分为两部分,一是在激光和等离子体特性研究的基础上进行激光和等离子体的应用探索,利用基于电子回旋共振(electroncyclotronresonance,ECR)...