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微量热计的研制及微纳米薄膜比热测试与分析
论文摘要研究微尺度热特性既是热科学向纵深发展的必然,也是提高微纳器件性能的关键因素之一。本文研究微纳器件中薄膜的比热性质,内容包括研制用于薄膜热容测量的微型量热计、构建脉冲量热...